[发明专利]机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备在审
| 申请号： | 202110103853.8 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112958467A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 余玉 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 李建忠;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，提出了一种机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备。机械臂包括本体和操作臂，操作臂包括连接件、第一转接部以及第二转接部，连接件与本体相连接；第一转接部与连接件相连接，第一转接部用于安装打开和关闭基座的第一操作机构；第二转接部与连接件相连接，第二转接部用于安装抓取和释放半导体器件的第二操作机构；其中，当第一转接部驱动第一操作机构打开基座后，第二转接部能够驱动第二操作机构将半导体器件放入基座中，或将基座中的半导体器件取出。整个测试过程中机械臂实现了对半导体器件的自动抓取与释放，以及基座的自动打开与关闭，以此提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 及其 组件 测试 系统 方法 存储 介质 电子设备 | ||
【主权项】：
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