[发明专利]气体感测器在审

专利信息
申请号: 202110108257.9 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN113376220A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 骆玠錞;何羽轩 申请(专利权)人: 新唐科技股份有限公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 侯天印;郝博
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供了一种气体感测器。上述气体感测器包括一半导体基底、一第一指状电极、一第二指状电极、一第三指状电极、一第一半导体层与一第二半导体层。上述第三指状电极设置在上述第一指状电极以及上述第二指状电极之间。上述第一半导体层形成在上述第一指状电极的多个第一延伸部分以及上述第三指状电极的多个第三延伸部分之间。上述第二半导体层形成在上述第二指状电极的多个第二延伸部分以及上述第三指状电极的多个第四延伸部分之间。上述第一半导体层与上述第二半导体层是由不同材料所形成。
搜索关键词: 气体 感测器
【主权项】:
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