[发明专利]一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202110113837.7 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN112941485A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 黄建威 申请(专利权)人: 黄建威
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510000 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了真空镀膜技术领域的一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法,该方法的具体步骤为:步骤一:先将需镀膜板进行清洁干燥;步骤二:再将镀膜板放入镀膜设备中进行镀膜;步骤三:镀膜完成后,等待一段时间,镀膜设备将镀膜板送出;步骤四:取出镀膜板完成镀膜;本发明通过在每次利用电动夹爪将镀膜板夹持送入镀膜箱后,利用真空泵抽真空时,利用镀膜箱内气体被抽出时带动扇叶进行转动,在通过顶起机构传动提前将电动夹爪抬升,避免电动夹爪阻挡在镀膜板的前后面,保证镀膜板能被彻底的镀膜。
搜索关键词: 一种 高效 真空镀膜 设备 镀膜 方法
【主权项】:
暂无信息
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