[发明专利]衬底处理装置及衬底处理系统

摘要

本申请案涉及一种衬底处理装置及衬底处理系统。在处理容器内处理衬底的衬底处理装置中，防止因部件滑擦引起的扬尘污染衬底，且将盖部确实地锁定在容器主体。因此，衬底处理系统(1)具备：处理容器主体(12)；盖部(13)，可堵塞处理容器主体的开口；移动部(14)，使盖部相对于处理容器主体相对移动，而将开口打开及关闭；以及锁定机构(16)，将盖部锁定在处理容器主体。锁定机构具有：臂部(161)，在处理容器主体及盖部中的一侧向另一侧延设，且当盖部位于从处理容器主体离开的离开位置时，超出与处理容器主体的间隙空间延伸至另一侧；以及卡止部(162)，与臂部中当盖部位于离开位置时位于超出间隙空间的位置的部位卡合，限制臂部的位移。