[发明专利]一种曝光机在审
| 申请号： | 202110124148.6 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112925175A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王飞;巢宏斌;黄吉林;张品祥;曾庆权;肖华 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族数控科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 田丽丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种曝光机，包括：光路系统，光路系统包括多个用于对待曝光基板进行曝光的曝光镜头；分隔腔，光路系统位于分隔腔中，分隔腔设置有进风口和出风口；空调机，与分隔腔的进风口通过通风管道连接，空调机中安装有温度闭环控制系统，温度闭环控制系统用于驱动所述空调机吹出换热气体以控制所述分隔腔内的温度。本发明提高了曝光机内部光路系统温度的稳定性，减少了图像拼接偏差，提升了图像曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 | ||
【主权项】：
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