[发明专利]一种微流控装置及其制造方法有效
| 申请号： | 202110130018.3 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112892626B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 李伟;林柏全;席克瑞;王林志;贾振宇 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种微流控装置及其制造方法，该微流控装置包括：微流控基板，微流控基板包括衬底基板、位于衬底基板上的电极阵列层以及疏水层，电极阵列层包括多个呈阵列排布的电极；微流控结构层，微流控结构层包括至少一个微流控通道；微流控基板用于根据微流控通道对电极施加电压，驱动微流控通道内液滴移动。本发明实施例中，微流控基板控制电极电位以对液滴进行移动控制，无需额外的驱动设备，减小了设备体积，增加了便携性；微流控结构层内设置有微流控通道，可以限定液滴移动路径，对液滴的移动控制操作灵活，还能够防止液滴受到相邻电极串扰，避免液滴移动路径偏移。因此，微流控装置整体实现了集成化，降低了产品成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流控 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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