[发明专利]一种用于连续镀膜的真空镀膜装置在审
| 申请号： | 202110137925.0 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112962079A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘宗昆;陈景鸿;孙立民;罗辉庆;黄德安 | 申请（专利权）人： | 肇庆宏旺金属实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401 | 代理人： | 彭志坚 |
| 地址： | 526238 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于连续镀膜的真空镀膜装置，包括真空镀膜腔室，所述真空镀膜腔室内设有沿镀膜方向依次设置的进料段、镀膜段、以及出料段，所述进料段和镀膜段的连接处，以及镀膜段和出料段的连接处均设有用于间隔密封的门体结构，所述进料段连接有抽真空装置，所述出料段连接有充气装置。本发明具有结构简单，密封性能强的优点，有效地解决了现有的镀膜生产线的真空镀膜装置由于连续不中断的上下料，容易导致外界的空气进入镀膜腔室内，破坏真空环境，导致镀膜效果降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 连续 镀膜 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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