[发明专利]振动控制装置、曝光装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202110140238.4 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN113296366A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 朝仓康伸;畑智康;森川宽;伊藤正裕;诸冈祐平;猪股裕也;石井祐二;桥本拓海;有井俊郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供有利于降低对象物体的振动的技术。提供控制对象物体的振动的振动控制装置。振动控制装置具有：传感器，检测所述对象物体的位移、速度、加速度中的至少1个物理量；自适应滤波器，根据由所述传感器检测到的所述物理量，生成用于降低所述振动的控制信号；以及扬声器，输出与所述控制信号对应的控制音。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 控制 装置 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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