[发明专利]一种晶圆的手臂夹持机构

摘要

本发明公开了一种晶圆的手臂夹持机构，涉及到半导体技术领域，包括底盘、安装座、驱动机构、夹持臂、晶圆缓冲模块和第一滑动块，其中，底盘的一侧对称地设有两夹持臂，两夹持臂之间形成一晶圆夹持槽，底盘的一侧还设有第一滑动块，每一夹持臂的一端分别开设有一第一滑槽，第一滑动块设于第一滑槽内，底盘的一侧还设有安装座，且安装座位于两夹持臂的上端，安装座内设有两驱动机构，每一驱动机构可分别驱动一夹持臂沿第一滑动块的长度方向移动，每一夹持臂的内部分别设有一晶圆缓冲模块。本发明中，可以在夹持晶圆的过程中实现对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，可以防止夹持臂作用在晶圆上的作用力过大而导致晶圆出现碎裂现象。