[发明专利]一种光器件的检漏方法有效
| 申请号： | 202110148484.4 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN113029460B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 唐永正 | 申请（专利权）人： | 武汉英飞光创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 徐瑛 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳大道52号凤凰产业园（武汉.中国光谷文化创意*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光器件的检漏方法，包括：对待检漏的光器件充氦气；将待检漏的光器件放入氦质谱检漏仪中检测漏率并记下漏率；判断待检漏的光器件的漏率是否大于等于预定值，当待检漏的光器件的漏率小于预定值时，则判定待检漏的光器件检漏通过，当待检漏的光器件的漏率大于等于预定值时，则判定待检漏的光器件检漏不通过；其中，预定值为同一光器件在不封盖时在相同条件下测得的漏率值。本发明提供中光器件的检漏方法相较于传统的需要进行细漏和粗漏两次检测的检漏方式而言，只需要一次充氦气和一次检测就能将漏气的光器件检测出来，工艺流程更简单，效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 检漏 方法 | ||
【主权项】：
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