[发明专利]干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法在审
申请号: | 202110149368.4 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN113203256A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 田村翔 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/12;F26B25/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;金雪梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法。干燥装置能够除去在基板保持架的干燥时在干燥槽的内部浮游的颗粒物。本发明的干燥装置(300)具备:干燥槽(320),其具有壁(322)、用于向壁的内表面供给液体的液体供给口(334)及用于排出内部的液体的排出口(336);多个喷嘴(340),其用于向基板保持架(200)喷射气体;液体供给单元(312),其用于从液体供给口向干燥槽的内部供给液体;气体供给单元(310),其用于向多个喷嘴供给气体;控制装置(380),控制装置控制液体供给单元和气体供给单元,使得在液体供给口向壁的内表面供给液体的期间,多个喷嘴向基板保持架或者基板(W)喷射气体。 | ||
搜索关键词: | 干燥 装置 处理 保持 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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