[发明专利]一种靶材喷砂后防氧化的方法在审
| 申请号： | 202110152744.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112959224A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;胡全 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/06 | 分类号： | B24C1/06;B24C9/00;B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材喷砂后防氧化的方法，所述方法包括以下步骤：将靶材的非溅射面进行喷砂处理，得到喷砂靶材；将喷砂靶材进行清洗，然后采用压缩气体进行吹扫干燥，得到具有干燥喷砂面的靶材。本发明所述方法通过对靶材非溅射面进行喷砂及清洗处理，再利用喷砂面的特性采用压缩气体对喷砂面进行吹扫，利用高压气流加速靶材表面液体的挥发，干燥速率快，无液体残留，可有效防止靶材喷砂面的氧化，提高靶材生产的合格率；所述方法操作简单，处理速度快，成本较低，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 后防 氧化 方法 | ||
【主权项】：
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