[发明专利]一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板

摘要

本发明公开了一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其结构包括主体、支撑脚、控制面板，主体的底端设有支撑脚，控制面板位于主体的顶端，主体包括空槽、加热装置、下压装置，加热装置包括支撑板、活动槽、复位弹簧、导热板、电源线，导热板包括导热体、传热片、导热片、缓冲块，传热片包括传热体、嵌固座、空槽、伸缩片，本发明利用下压装置将晶圆片进行下压，使得晶圆片能够贴合于加热装置的端面进行加热，从而让加热过后的研磨胶膜能够轻易的从晶圆片的端面撕下，且不会让晶圆片的端面出现胶痕的情况。