[发明专利]设备前端模块及其操作方法

摘要

本揭露提供一种设备前端模块及其操作方法，设备前端模块包括壳体、前开式通用容器座、以及空气幕系统。壳体相对于壳体周围环境提供隔离环境，壳体包含在壳体的内部与壳体的外部之间延伸的容器接取端口。前开式通用容器座位于壳体的外部，前开式通用容器座配置以承放前开式通用容器，使得前开式通用容器对齐容器接取端口。空气幕系统包括气体源室、排放喷嘴、气体收集室、以及进气孔。设备前端模块包括空气幕系统，可以在端口开启时产生经过前开式通用容器接取端口的空气幕，用于将设备前端模块内部与前开式通用容器环境隔离，并防止气载污染物经由接取端口进入设备前端模块。