[发明专利]加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置在审
申请号: | 202110157821.6 | 申请日: | 2021-02-04 |
公开(公告)号: | CN113325286A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 小林将人 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置,用于简单地估计装置中的加热源的寿命,所述装置利用加热源将对象物进行加热,并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度,通过温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制。温度控制器实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制,寿命估计系统具有:温度监视器部,其对由温度测定器测定出的对象物的测定温度进行监视;波动量探测部,其探测由温度监视器部监视到的对象物的温度在稳定区域中的波动量;以及寿命估计部,其根据波动量探测部探测到的波动量来估计加热源的寿命。 | ||
搜索关键词: | 热源 寿命 估计 系统 方法 以及 检查 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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