[发明专利]加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置在审

专利信息
申请号: 202110157821.6 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN113325286A 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 小林将人 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置,用于简单地估计装置中的加热源的寿命,所述装置利用加热源将对象物进行加热,并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度,通过温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制。温度控制器实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制,寿命估计系统具有:温度监视器部,其对由温度测定器测定出的对象物的测定温度进行监视;波动量探测部,其探测由温度监视器部监视到的对象物的温度在稳定区域中的波动量;以及寿命估计部,其根据波动量探测部探测到的波动量来估计加热源的寿命。
搜索关键词: 热源 寿命 估计 系统 方法 以及 检查 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社,未经东京毅力科创株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110157821.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code