[发明专利]一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 202110160013.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112981404B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人： | 四川和晟达电子科技有限公司;江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法。所述组合物包括主剂和辅剂。本发明通过主剂和辅剂相互配合，选用特定质量含量不同的化合物或其组合，与不同金属或金属氧化物发生化学反应，使其变为可溶性的金属盐，具备较高的铜离子负载能力，能够达到良好的蚀刻形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 蚀刻 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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