[发明专利]加工装置在审
申请号: | 202110170687.3 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN113334240A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 福士畅之 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005;B24B55/06;B24B49/00;B24B49/12;B24B7/22;H01L21/66 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供加工装置,作业者能够观察收纳有加工后的被加工物的盒内部而短时间容易地识别被加工物是否被正常加工。加工装置包含:卡盘工作台,其对具有标记的被加工物进行保持;加工单元,其将被加工物利用磨削磨具进行磨削或者利用研磨垫进行研磨;盒载台,其载置收纳多个被加工物的盒;暂放工作台,其暂放被加工物;旋转工作台,其保持要清洗的被加工物;机器人,其搬送被加工物;判断部,其判断被加工物被正常加工还是未被正常加工;和控制单元,其在判断部判断为被加工物被正常加工时进行使标记朝向规定方向的控制,将被加工物收纳于盒中,在判断为未被正常加工时进行使标记朝向与规定方向不同的方向的控制,将被加工物收纳于盒中。 | ||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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