[发明专利]悬浮运输设备和激光处理设备在审
| 申请号： | 202110174295.4 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113307038A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 藤贵洋;山口芳広 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种悬浮运输设备和激光处理设备。根据一实施方式的悬浮运输设备包括悬浮单元，该悬浮单元用于通过将气体喷射到基板的下表面来悬浮基板。悬浮单元包括：多个喷射口，设置在面对基板的表面上并被构造成喷射气体；以及狭缝，沿竖直方向穿透悬浮单元。悬浮运输设备被构造成使得滞留在悬浮单元的面对基板的表面与基板之间的气体经由狭缝被排放到悬浮单元的下表面侧。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮 运输设备 激光 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日本制钢所，未经株式会社日本制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110174295.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有脚踏琴健身架的学步推车
- 下一篇：固态射频（SSRF）水加热器设备
