[发明专利]晶圆上目标缺陷的快速筛查方法及其装置、系统、存储介质和电子设备有效
| 申请号： | 202110176690.6 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112991268B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 沈剑;刘迪;唐磊;胡逸群;陈建东 | 申请（专利权）人： | 上海众壹云计算科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 重庆恩洲知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 50263 | 代理人： | 兰渝宏;熊传亚 |
| 地址： | 200333 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆上目标缺陷的快速筛查方法，其包括：获取所有目标区域内每种待筛查缺陷各自的筛查参数，如独特性权重，严重性权重，普适性权重和自定义常量；根据筛查参数确定每种待筛查缺陷各自的筛查参考值；根据筛查参考值和预设的筛查规则，自动筛查出目标缺陷。本发明通过获取每种待筛查缺陷多方面的筛查参数，并根据多方面的筛查参数来确定其筛查参考值，然后根据该筛查参考值来自动筛选目标缺陷，解决了现有技术中采用人工筛查无法实现大批量快速筛查的问题，降低了工作人员的劳动强度，同时一定程度上保证了筛查结果的可靠性和准确性。相应地，本发明还公开了一种快速筛查装置及系统、存储介质和电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆上 目标 缺陷 快速 方法 及其 装置 系统 存储 介质 电子设备 | ||
【主权项】：
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