[发明专利]一种具有高容量电容结构的阵列基板及其制备方法

摘要

本发明涉及阵列基板技术领域，特别涉及一种具有高容量电容结构的阵列基板及其制备方法，包括玻璃基板和设置在玻璃基板一侧面的缓冲层，缓冲层远离玻璃基板的一侧面的电容区域开设有至少一个的凹槽，凹槽中填充有第一电极层，第一电极层远离缓冲层的一侧面上依次层叠覆盖有第一绝缘层、第二电极层、第一蚀刻阻挡层、第三电极层和第一钝化层，第一电极层、第一绝缘层和第二电极层构成一个电容，第二电极层、第一蚀刻阻挡层和第三电极层构成一个电容，以形成两个并联的电容，从而进一步增大了电容容量，同时也能减小电容的占用面积，具有提高面板PPI、缩小面板边框尺寸的优势。