[发明专利]一种晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法在审
| 申请号： | 202110178921.7 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112964802A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 倚娜 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/12 |
| 代理公司： | 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 | 代理人： | 郝杰 |
| 地址： | 710032 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，包括：S10、准备未装载硅片的晶圆装载盒，闭合晶圆装载盒，在所述晶圆装载盒的过滤器口上安装过滤器；S20、将晶圆装载盒放入烤箱中，所述烤箱升温至40℃‑60℃；S30、所述烤箱保温4小时‑6小时；S40、从烤箱中取出所述晶圆装载盒，并取下所述晶圆装载盒上安装的过滤器，将空气采样泵上安装的吸附管与晶圆装载盒的过滤器口连接；S50、设定空气采样泵的抽吸时间t和抽吸速度Se，将所述晶圆装载盒内的气体收集至所述吸附管；S60、将所述吸附管放置在热解吸附仪上解吸附，并用GC‑MS分析仪分析解吸附后的气体。本发明提供的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法测试速度快，并且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装载 盒中低 沸点 有机物 含量 测试 方法 | ||
【主权项】：
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