[发明专利]一种用于单片式晶圆的清洗装置在审
| 申请号： | 202110181217.7 | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN113020059A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;刘青松 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于清洗装置领域，具体为一种用于单片式晶圆的清洗装置，包括间隙转动机构、固定机构、清洗机构，所述间隙转动机构包括底板、转轴支架、转轴、蜗轮、蜗杆，所述底板顶端通过所述转轴支架支撑有所述转轴，所述转轴一端键连接有所述蜗轮，所述转轴另一端固定有转盘，所述蜗轮一侧啮合有所述蜗杆，所述蜗杆键连接在电机一输出轴上，所述电机一通过电机支座固定安装在所述转轴支架上，所述固定机构包括连接架、滑动支架、滑套、滑杆、限位板一。本发明采用间隙转动机构和固定机构，从而可以同时固定多个单片式晶圆并送入清洗机构进行清洗，这样清洗效率高，并且清洗机构可以对晶圆的两面同时进行清洗，清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单片 式晶圆 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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