[发明专利]一种集成电路在审
| 申请号： | 202110181478.9 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112992886A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杨妍;李志华;唐波;张鹏;孙富君;刘若男;李彬;谢玲;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L23/538;H01L23/367 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路，涉及集成电路技术领域，用于在降低集成电路的功耗的同时，提升集成电路的工作性能。该集成电路包括：半导体衬底、光模块、第二电芯片和互连结构。半导体衬底的第一侧开设有开口槽。光模块包括光芯片和第一电芯片。光芯片位于开口槽内，用于对光信号进行调制，和/或将光信号转换为电信号。第一电芯片的其中一部分位于光芯片上、且与光芯片电连接。第一电芯片的另一部分位于半导体衬底的第一侧上。第二电芯片位于半导体衬底的第一侧上。互连结构至少位于半导体衬底内，用于将第一电芯片位于半导体衬底上的部分与第二电芯片电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 | ||
【主权项】：
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