[发明专利]陶瓷件及其制作方法在审
| 申请号： | 202110181918.0 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112939612A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 符雅丽;高明圆;郑友山;王春;李东三 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;B28B11/22;H01J37/16 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷件及其制作方法，该陶瓷件制作方法包括以下步骤：S1、在陶瓷粉粒中加入胶黏剂，形成陶瓷生胚；S2、对陶瓷生胚进行加工，以获得所需形状和尺寸；S3、对陶瓷生胚的整个待处理表面进行刷扫处理，以去除待处理表面上存在的缺陷；S4、对陶瓷生胚进行烧结，形成陶瓷件。本发明实施例提供的陶瓷件及其制作方法，能够减少陶瓷件表面上存在的隆起晶粒和孔洞缺陷的数量，从而可以提高芯片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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