[发明专利]一种调节装置、蒸镀机及调节方法有效
| 申请号： | 202110182514.3 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN112981329B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 马超;张文畅;郭登俊;黄世花;韩丰明;吕文旭 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;胡晓男 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种调节装置、蒸镀机及调节方法，该调节装置包括用于放置蒸镀掩膜版的基台，基台设置有能调节高度的支撑机构，用于将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，通过在复杂蒸镀过程中将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，提高蒸镀精度，进而提升OLED良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 装置 蒸镀机 方法 | ||
【主权项】：
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