[发明专利]一种自动翻面的光刻机工件夹持设备及其使用方法

摘要

本发明公开了一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，包括基座和立柱，所述基座的上端四角均固接有立柱，所述立柱上端安装有自动复位机构，所述自动复位机构包括底板、横杆和弹簧，所述底板的内壁设有多个横杆，所述横杆的左右两端均与底板固定相连，所述横杆的外壁外侧设有弹簧，所述弹簧的外端与底板固定相连。该自动翻面的光刻机工件夹持设备，结构科学合理，使用安全方便，通过电机、第一锥齿轮、螺杆、夹板、齿轮、齿板和圆杆之间的配合，电机通过第一锥齿轮和螺杆驱动夹板和齿轮向上移动，齿轮在向上移动的过程中受齿板的阻挡转动，齿轮转动通过圆杆带动夹板和工件转动翻面，解决了现有技术的设备不能对工件进行快速翻面的问题。