[发明专利]蒸镀掩模单元的制作方法在审
| 申请号： | 202110196113.3 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113355634A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 西之原拓磨;渡部将弘;松本优子;木村辽太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀掩模单元的制作方法。该方法包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由蒸镀掩模和保护膜夹着光固化性树脂膜，且光固化性树脂膜覆盖多个开口的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；隔着保护膜对光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除保护膜的步骤；在去除了保护膜之后，对光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使光固化性树脂膜显影来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与蒸镀掩模接触的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；和使用镀敷法形成用于将支承架固定于蒸镀掩模的连接部的步骤。根据本发明，能够以高成品率或低成本地制造蒸镀掩模单元。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 单元 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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