[发明专利]一种氧化物组合薄膜制备方法在审
申请号: | 202110196155.7 | 申请日: | 2021-02-22 |
公开(公告)号: | CN112967835A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 吴宝嘉;王帅;顾广瑞;张宇巍;冯慧东 | 申请(专利权)人: | 延边大学 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人: | 段宇 |
地址: | 133002 吉林省延*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: |
本发明适用于材料技术领域,提供了一种氧化物组合薄膜制备方法,氧化物组合薄膜包括层叠设置的基底、第一金属氧化物层、涂覆层以及第二金属氧化物层,所述第一金属氧化物层由改性纳米Si(NO |
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搜索关键词: | 一种 氧化物 组合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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