[发明专利]杯体的清洁方法在审
| 申请号： | 202110198504.9 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113118106A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 吴孟学;郭芳妤;刘铠毓;吴彧群;黄招胜;陈威毅 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 韩旭;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种设备包括：晶圆平台以及颗粒移除组件。晶圆平台包括邻近晶圆卡盘的杯体。颗粒移除组件配置以从杯体中移除污染物颗粒。在一些实施例中，颗粒移除组件可挠性排出构件，其包括一或多个细长管、前尖端以及清洁尖端适配器。清洁尖端适配器配置以将前尖端附接至一或多个细长管的每一者。前尖端包括前开口和侧开口，从前开口和侧开口排出加压清洁材料。加压清洁材料被引导至杯体的不可触及区域上以从杯体移除污染物颗粒。本公开还涉及一种杯体的清洁方法。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 方法 | ||
【主权项】：
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