[发明专利]一种用于晶圆光刻的高精度对准设备

摘要

本发明公开了一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其结构包括固定机构、转动杆、控制面板、对准箱，固定机构嵌固在转动杆左侧，控制面板安装于对准箱正面，转动杆右侧卡合在对准箱内部，固定时控制环形块内侧的伸缩杆对贴合机构支撑，使得晶圆侧面对挤压结构进行挤压，阻挡板左侧顶角侧面受晶圆的压缩后进行弯曲，避免晶圆与弧形槽贴合过紧，使压缩板通过弧形槽减小接触面积，增强对晶圆侧面的摩擦力，避免贴合弹力过大，防止脱落时弹力对晶圆侧面产生作用力，晶圆外侧在摩擦块右侧中进行贴合摩擦，使晶圆脱离活动结构的固定时避免产生侧面作用力，利用摩擦力代替弹力的方法进行固定，防止脱离对晶圆键合进行错位。