[发明专利]气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法在审
| 申请号： | 202110211586.6 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113377135A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 金柾完;金省准 | 申请（专利权）人： | KC股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D11/13 | 分类号： | G05D11/13 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 全振永;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法，涉及一种用于将供应气体以适合的浓度供应到气体需求处的气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法。本发明的气体混合供应装置包括：混合系统，混合多个种类的气体并供应到储罐；供应系统，将储存于所述储罐的供应气体供应到气体需求处，其中，所述供应系统构成为包括测量从所述储罐供应的供应气体的浓度的浓度分析部，并且构成为控制部根据由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度而判断供应到所述气体需求处的供应气体是否合适。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 混合 供应 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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