[发明专利]半导体封装装置及其制造方法在审
| 申请号： | 202110214658.2 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113013136A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 吕文隆 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京植德律师事务所 11780 | 代理人： | 唐华东 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了半导体封装装置及其制造方法，通过在基板和FO层之间设置间隔物，实现了在基板表面焊垫高度变化较大(例如均匀度大于20％)、以及可能出现翘曲的情况下，都能提高FO层与基板之间的连接可能性。以及通过利用导电孔连接FO层和基板，而不是利用导电柱连接，由于导电孔(Conductive)相对于导电柱(Pillar)在制程上更容易控制精细度，避免了现有技术中采用导电柱可能会出现的冷焊、导电柱损坏或变形以及键合面积减小的问题。即，整体上可以提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 封装 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日月光半导体制造股份有限公司，未经日月光半导体制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110214658.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
