[发明专利]一种Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法有效
| 申请号： | 202110219284.3 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112864345B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 李雪原;邱天霜;郭向阳;林挺;刘胜芳;赵铮涛 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/00 | 分类号： | H10K71/00;B03C1/30 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法，具有：表面处理模块，能够向基板发射等离子流；赋电模块，能够对基板上的杂质颗粒附加电荷；磁场模块，能够对基板上的带电杂质颗粒施加电磁力；输送机构，能够使基板在表面处理模块、赋电模块、磁场模块内输送；基板能够在赋电模块和磁场模块之间往复运动，减少基板表面杂质颗粒，提高产品良品率，同时，在基板表面赋予电荷的同时，可以减小其表面能，使得后续界面接触更加紧密。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 micro oled 去除 杂质 颗粒 基板前 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽熙泰智能科技有限公司，未经安徽熙泰智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110219284.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防水防尘高压静止无功补偿装置
- 下一篇：不阻断腔内流体的管腔内递药装置
