[发明专利]镀膜装置、镀膜系统及其使用方法在审
| 申请号： | 202110222582.8 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN112853307A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 翁勇新;张万财 | 申请（专利权）人： | 厦门海辰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/26;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 周宇 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬高新区*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种镀膜装置、镀膜系统及其使用方法，属于镀膜技术领域。该镀膜装置包括沿高分子基膜的输送路径依次设置的吹气装置和蒸镀装置。吹气装置被配置成提供气体并使气体附着在高分子基膜上，蒸镀装置被配置成提供金属原子，以使金属原子与高分子基膜上的气体发生反应得到金属化合物层。上述镀膜装置可以使金属化合物层的质地更加均匀，从而提高薄膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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