[发明专利]一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备有效
| 申请号： | 202110229432.X | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN112595722B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 谷孝东;曹葵康;刘华雷;杨云仙;刘丽丽;张体瑞;温延培 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G01M11/00;B65G51/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备，气浮平台包括气浮精度依次增高的搬运段气浮组件、过渡段气浮组件和精密段气浮组件构成的三段式结构，平台模组包括两组对置设置的气浮平台，其中两个精密段气浮组件临近设置。检测设备在精密段气浮组件处通过光学检测装置实现对待测件的检测定位、初检和精检。本发明采用分段式气浮平台，大幅降低了成本，整体结构简单，模块化的设计，便于装配和维修，能适应不同进出料流道的布局，从而提高了应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 平台 模组 检测 设备 | ||
【主权项】：
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