[发明专利]一种控制硒化镓单晶体解理面定向生长的方法有效
申请号: | 202110230724.5 | 申请日: | 2021-03-02 |
公开(公告)号: | CN113046831B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 马天慧;李兆清;王春艳;张红晨;林鹏 | 申请(专利权)人: | 黑龙江工程学院 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B11/00 |
代理公司: | 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 | 代理人: | 王艳萍 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种控制硒化镓单晶体解理面定向生长的方法,它涉及硒化镓单晶体生长的方法。它是要解决现有的硒化镓晶体的解理面的方向无法控制的技术问题。本发明的方法:先用垂直双温区管式电阻炉合成GaSe多晶,然后接着通过控制径向温度梯度、纵向温度梯度、石英管的转速和坩埚下降速率来调控GaSe单晶生长方向,进行晶体生长。本发明的方法可以根据需要调整解离层与坩埚纵向轴线的角度,利于器件制备时对晶体的切割,晶体利用率高,可用于晶体生长领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 控制 硒化镓 单晶体 解理 定向 生长 方法 | ||
【主权项】:
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