[发明专利]一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件

摘要

本发明涉及通讯芯片光刻技术领域，且公开了一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，包括同心校正机构，所述同心校正机构内部的中端转动连接有同心转动轴，同心转动轴的外侧设有内压固定轮。该新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，通过液压校正环内部液压油的偏向运动，进而使光束校正器偏向一侧内部的液压油向同侧的扩撑杆进行施压，从而使扩撑杆向内侧运动，使扩撑杆下压伸缩台和顶位柱，进而使顶位柱推动圆头活塞和滑动活塞接触，从而使滑动活塞向内部偏移，进而带动顶伸柱和半弧板向偏转的光束校正器运动，从而使光束校正器的偏转被校正，进而减少光束夹角，从而提高光刻的精度。