[发明专利]一种外延设备的气体供应方法及装置有效
| 申请号： | 202110231567.X | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113026098B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 廖秋林;秦月明;赵肃 | 申请（专利权）人： | 桂林雷光科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14 |
| 代理公司： | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人： | 张学平 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治区桂林市*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延设备的气体供应方法及装置，支撑组件的壳体、底座和控制盒连接，第一加热组件的多个第一安装板设置在壳体的第一安装槽内，第一支撑板和多个第一安装板连接，多个第一加热电阻分别设置在多个第一安装板内，第二加热组件的多个第二安装板设置在壳体的第二安装槽内，第二支撑板和多个第二安装板连接，多个第二加热电阻分别设置在多个第二安装板内。交叉设置的第一安装板和第二安装板可以形成气体流通的弯曲回路，极大地增加了加热器件和气体的接触面积，从而可以更加高效地进行加热，通过输出组件可以将气体排出，从而可以方便地对反应气进行加热，提高加热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 设备 气体 供应 方法 装置 | ||
【主权项】：
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