[发明专利]芯片转移装置在审
申请号: | 202110233431.2 | 申请日: | 2021-03-03 |
公开(公告)号: | CN112951758A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 黄勇;刘昊旻 | 申请(专利权)人: | 微纳精密科技(东莞)有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H05K3/30 |
代理公司: | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人: | 田丽丽 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例公开了一种芯片转移装置,包括负压组件、纵向移动组件以及转动组件,负压组件包括位于芯片转移装置的下端的吸头,吸头用于连接负压设备,纵向移动组件用于驱动吸头沿竖直方向来回运动,转动组件用于驱动吸头以竖直方向为中心转动。采用了上述芯片转移装置,芯片转移装置包括转动组件,转动组件用于驱动吸头以竖直方向为转动方向转动,吸头从料带上吸起芯片后,转动组件可以驱动吸头转动,从而使芯片与电路板焊盘对齐。相对于传统的芯片转移装置中吸头不可旋转的方案,本方案中转动组件可以驱动吸头转动,从而避免芯片贴歪,进而影响产品质量的情况发生。 | ||
搜索关键词: | 芯片 转移 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造