[发明专利]太阳能电池的制备方法、制备装置及太阳能电池有效

专利信息
申请号: 202110239300.5 申请日: 2021-03-04
公开(公告)号: CN113130673B 公开(公告)日: 2023-07-07
发明(设计)人: 龚志清;沈春涛 申请(专利权)人: 苏州迈为科技股份有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/18
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 姚忠琦
地址: 215200 江苏省苏州市吴江区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供一种太阳能电池的制备方法、制备装置及太阳能电池。该制备方法包括:提供轻掺杂的硅片,轻掺杂的硅片包括多个待激光重掺杂的第一预设区域;获取轻掺杂的硅片的方阻值分布;根据方阻值分布确定多个第一预设区域的激光重掺杂功率;根据激光重掺杂功率对多个第一预设区域进行激光重掺杂,以使激光后的任意两个第一预设区域的方阻值的差满足预设范围。上述太阳能电池的制备方法,可为多个待重掺杂的区域分别匹配合适的激光重掺杂功率,从而有利于保障重掺杂区域的方阻一致性,更好地提高太阳能电池的光电转换效率。
搜索关键词: 太阳能电池 制备 方法 装置
【主权项】:
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