[发明专利]一种高效ITO废靶回收再利用的方法在审
| 申请号： | 202110242917.2 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN112960690A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 唐智勇 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01G19/02 | 分类号： | C01G19/02;C01G15/00;C22B7/00;C22B58/00 |
| 代理公司： | 长沙鑫泽信知识产权代理事务所(普通合伙) 43247 | 代理人： | 刁飞 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效ITO废靶回收再利用的方法，属于ITO靶材回收技术领域，该方法包括以下步骤：S1、清洗：用丙酮擦拭ITO废靶表面，然后用超声波清洗干净，干燥后备用；S2、电弧气化：将清洗后的ITO废靶放入直流电弧气化反应室中，通入100‑200V直流电压产生的电弧，以将ITO废靶熔化、气化；S3、粉末回收：将气化后的ITO废靶骤冷，然后经分级收粉系统，得到ITO粉末。本发明In的回收率较高，且具有高效、环保节能等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 ito 回收 再利用 方法 | ||
【主权项】：
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