[发明专利]具有预蚀刻制程的蚀刻装置在审
| 申请号： | 202110245096.8 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN115011962A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 苏胜义;乔鸿培;吕理榕;苏绍君;钟添达;黄世达;巫坤星 | 申请（专利权）人： | 扬博科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明为一种具有预蚀刻制程的蚀刻装置，其具有并列设置的一测量机构、一整平机构、一蚀刻机构及一贯穿位在各机构内部的移送机构，该测量机构及该整平机构对待加工的电路板进行测量并以预蚀刻制程使电路板的铜箔厚度相同，该蚀刻机构以第一蚀刻部对电路板进行粗略蚀刻处理，以第二蚀刻部所喷出特定比例的蚀刻液进行较为细致的蚀刻处理，并以所设的吸取部将电路板的蚀刻液进行去除处理，由此达到提高蚀刻因子的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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