[发明专利]一种TFT电路基板生产工艺在审
申请号: | 202110256108.7 | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN113056093A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 王鹤杰;王鹤尧 | 申请(专利权)人: | 深圳市昱安旭瓷电子科技有限公司 |
主分类号: | H05K1/03 | 分类号: | H05K1/03;H05K3/00;H05K3/18 |
代理公司: | 深圳市新虹光知识产权代理事务所(普通合伙) 44499 | 代理人: | 刘菊美 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区沙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及电路基板生产的技术领域,公开了一种TFT电路基板生产工艺,包括以下步骤:选取基材,基材为玻璃或者陶瓷制成;对基材进行表面处理,通过真空溅射的方法在基材的表面溅射一层过渡金属薄层;在过渡金属薄层的表面贴设高分辨率的曝光干膜,通过曝光机在基材上曝光出阴文线路图形;通过脉冲电镀在基材上电镀出电路图形,去掉曝光干膜、去除真空溅射形成的过渡金属薄层,对基材上的电路表面进行沉金或其他保护处理;将基材激光切割出需要的尺寸得到成品;通过选用尺寸稳定性好的玻璃或陶瓷材料制成的基材,同时采用真空溅射的方法制作电路图形,图形精度高,使用玻璃或陶瓷作为基材,可有效散发产品长期工作产生的热量,延长产品使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 tft 路基 生产工艺 | ||
【主权项】:
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