[发明专利]密封装置、激光器和激光退火设备有效
申请号: | 202110266415.3 | 申请日: | 2021-03-11 |
公开(公告)号: | CN113054516B | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 黄吉;张文;孔孟来;张培;张宇;姚晓军 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01S3/034 | 分类号: | H01S3/034;H01S3/036;H01L21/67 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 魏艳新;姜春咸 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种密封装置、激光器和激光退火设备,涉及显示设备制造技术领域,其中,密封装置包括:具有开口的壳体;设置在壳体上的安装板,安装板具有用于可拆卸地安装介质窗的安装区,安装板能够沿开口的深度方向移动,以使安装区能够伸入或伸出壳体;限位组件,设置在安装板上,限位组件在安装板上安装有介质窗时,处于第一状态;限位组件在安装板上未安装介质窗、且安装区伸出至壳体外时,处于第二状态;第一状态为:限位组件能够伸入壳体的状态;第二状态为:限位组件的至少一部分抵靠在壳体的外壁上,以阻止安装区伸入壳体的状态。本发明能够避免出现未将介质窗安装到安装板上就将安装板推进壳体中的情况发生,防止由此导致的密封失效问题。 | ||
搜索关键词: | 密封 装置 激光器 激光 退火 设备 | ||
【主权项】:
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