[发明专利]蒸发器换热组件、换热水箱及晶圆加工设备用温控装置有效
| 申请号： | 202110272136.8 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113028684B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 刘紫阳;何文明;胡文达;靳李富;芮守祯;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F25B39/02 | 分类号： | F25B39/02;F28F9/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吴欢燕 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体加技术领域或者制冷技术领域，提供一种蒸发器换热组件、换热水箱及晶圆加工设备用温控装置。蒸发器换热组件包括：蒸发器，包括翅片；导流组件，包括位于所述蒸发器相对两侧且上下错位设置的导流槽，位于所述蒸发器相对两侧的所述导流槽之间通过翅片流体连通，以形成经过所述翅片的导流路径。根据本发明实施例的蒸发器换热组件，由于在蒸发器的两侧分别设置有导流槽，且导流槽之间通过翅片流体连通，进而当换热介质进入任意一侧的导流槽中的时候，都会通过翅片进入到另一侧的导流槽中，以形成经过翅片的蜿蜒状导流路径，进而可以极大增加换热介质的流程长度，保证换热介质和蒸发器的外表面充分接触，提高换热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 组件 水箱 加工 备用 温控 装置 | ||
【主权项】：
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