[发明专利]一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110272381.9 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN112976746B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 叶世强;于涛;周慧芝;王国明 | 申请（专利权）人： | 富维薄膜（山东）有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/36 | 分类号： | B32B27/36;B32B7/12;B32B27/08;B32B27/30;B32B27/06;C08J5/18;C08L33/08;C08L79/04;C08L65/00;C08L79/02;C08K3/22;C08K3/36 |
| 代理公司： | 青岛科通知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 37273 | 代理人： | 雷丽 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法，涉及聚酯薄膜技术领域，抗静电聚酯层设置在聚酯薄膜基材的上端面，表层保护层设置在抗静电聚酯层的上端面，表层保护层采用聚烯烃膜，抗静电聚酯层采用有机‑无机复合材料，其中，有机材料采用丙烯酸酯树脂，无机材料采用改性纳米无机粒子，本发明在原有的聚酯薄膜上粘附有抗静电层，有效地降低了薄膜的表面电阻，使薄膜具有稳定、良好地抗静电性能，能有效的防止静电吸附杂质，而造成对聚酯薄膜表面的污染，同时，添加的抗静电层并不会影响聚酯薄膜原有的光学性能和机械性能，进而提高了抗静电干膜抗蚀剂的综合性能，制备简单，产品稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗静电 干膜抗蚀剂用 聚酯 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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