[发明专利]焊盘结构的制造方法、体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202110273946.5 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN115085682A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 温攀;张巍 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种焊盘结构的制造方法，一种包括该焊盘结构的体声波谐振器，一种包括该谐振器的滤波器以及一种包括该焊盘结构或谐振器或滤波器的电子设备。所述制造方法包括步骤：设置第一光刻胶，所述第一光刻胶包括贯穿其的通道；经由所述通道在所述通道对应的位置设置焊盘，所述焊盘适于覆盖导电层的至少一部分而与导电层电连接；设置第二光刻胶覆盖所述焊盘；和移除第一光刻胶和第二光刻胶以露出焊盘。 | ||
| 搜索关键词： | 盘结 制造 方法 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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