[发明专利]一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法

摘要

本发明提供了一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法，所述照明光路包括光源和斜射光路，斜射光路的末端设有用于测量光强的光强测量装置，光强测量装置包括探头和探头支架；探头安装于探头支架上，探头支架位于斜射光路的末端；探头支架与一驱动件相连，驱动件用于控制探头支架的转向；当缺陷检测装置处于工作状态时，在驱动件的作用下，探头偏离所述照明光路；当需要测量斜射光路的末端的光强时，在驱动件的作用下，光源发射的光线能够经斜射光路达到探头。本发明提供的光强测量装置避免了手动测量光强，达到了自动化测量光强的目的，既减少了停止设备测量光强的时间，提高了设备的运行效率，又能够直接在设备外对检测到的光强进行读数。