[发明专利]清洁抛光垫的设备和抛光装置在审
| 申请号： | 202110277797.X | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114536213A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 曹志焕 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 寇毛;李雪 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及清洁抛光垫的设备和抛光装置，一种清洁抛光垫的设备包括：第一气体管嘴，该第一气体管嘴用于将气体喷射到抛光垫的孔；以及第一液体管嘴，该第一液体管嘴用于将液体喷射到抛光垫的孔。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 抛光 设备 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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