[发明专利]一种石墨舟卡点自动装卸装置有效
申请号: | 202110279094.0 | 申请日: | 2021-03-16 |
公开(公告)号: | CN113061874B | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 余永雄;陈必雄;杨建生;孙雪平;张朝阳;张彬庭 | 申请(专利权)人: | 湖南华鑫晶造电气科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C14/50;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙大珂知识产权代理事务所(普通合伙) 43236 | 代理人: | 王琼琦 |
地址: | 410205 湖南省长沙市长沙高新开发区*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨舟卡点自动装卸装置,包括机架,机架上设置有卡点上料机构、卡点装卸机构、舟叶中转机构和卡点压实机构;卡点上料机构包括第一升降机、第一顶板、第一工作台和第一移动架,第一工作台下方固定安装有定位板,定位板上设置有若干安装孔,第一顶板上安装有第一顶杆,第一顶杆一端贯穿安装孔设置,第一工作台上插入有若干卡点套管,第一工作台上还设置有若干定位销,定位销设置于卡点套管的一侧,第一移动架上设置有第一下压电缸,第一下压电缸下方连接有第一压板,第一压板上设置有若干电磁铁,卡点套管设置有容置通道,第一顶杆活动设置于容置通道内;卡点套管上部设置有安装位,安装位内设置有卡点套,卡点套用于安装卡点。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 舟卡点 自动 装卸 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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